Томская компания «Прикладная электроника» — единственный в России серийный производитель источников питания для оборудования сильноточного импульсного магнетронного распыления. Продукция поставляется в Европу, Азию и Америку.

Компания создана сотрудниками томского Института сильноточной электроники (ИСЭ) СО РАН в 2004 году и занимается производством оборудования для технологий ионно-плазменного напыления покрытий: магнетронных распылительных систем, источников ионов, а также специализированных источников электропитания.

«С появлением новой полупроводниковой элементной базы в последние десятилетия магнетронные технологии осаждения покрытий переживают бурное развитие. Тонкий титановый слой напыляют на режущий инструмент, повышая его износостойкость, энергосберегающие покрытия наносят на окна, пленки используются в микроэлектронике, оптике, производстве средств записи и многих других отраслях. Специализированные источники питания существенно расширяют возможности таких систем», — говорит директор ООО «Прикладная электроника» Артем Павлов.

По словам Артема Павлова, в России известно всего несколько производителей источников для ионоплазменных технологий. Серийным выпуском энергоблоков для сильноточного магнетронного распыления занимается только томская «Прикладная электроника». При этом компания выполняет и индивидуальные заказы, делая нестандартные источники под уникальные решения клиентов.

«Одна из последних наших новинок — импульсные источники питания для сильноточного магнетронного распыления. Это новая перспективная отечественная технология, которой активно интересуются за рубежом, — рассказывает технический директор компании Владимир Оскирко. — Благодаря высокой концентрации плазмы технология позволяет получать покрытия с недостижимыми ранее свойствами, но для этого необходимо обеспечить невероятно высокую мощность — от сотен киловатт до нескольких мегаватт — в короткие промежутки времени. Разработанные нашей командой источники обладают такой способностью».

Заказы на источники питания в Томск поступают не только со всей России, но и из стран СНГ, Бразилии, Японии, Кореи, Швейцарии.

«В России сильноточное магнетронное распыление пока не столь популярно, как в других странах, но неоспоримые преимущества этой технологии не оставляют сомнений в том, что ситуация скоро изменится. Собственные сильноточные источники питания, безусловно, помогут совершить рывок в данном направлении», — считает Артем Павлов.

Магнетронное распыление — технология нанесения тонких плёнок на подложку с помощью катодного распыления мишени в плазме магнетронного разряда — диодного разряда в скрещенных полях. Технологические устройства, предназначенные для реализации этой технологии, называются магнетронными распылительными системами, или, сокращенно, магнетронами.